英文
400-888-0829
半自動(dòng)晶圓超聲掃描顯微鏡
應(yīng)用范圍
6、8、12寸晶圓鍵合檢測(cè)
設(shè)備優(yōu)勢(shì)
系統(tǒng)內(nèi)無金屬污染，配置微型環(huán)境（FFU）封裝設(shè)計(jì)
滿足掃描過程的Class2（100級(jí)）清潔度要求
配置晶圓自動(dòng)入水機(jī)構(gòu)
左右雙探頭同時(shí)掃描，提示掃描效率
整體有效掃描范圍：420mm×320mm
可依據(jù)晶圓尺寸定制晶圓專用載臺(tái)
主要參數(shù)
外形尺寸
1200㎜(L)×1500㎜(W)×2000㎜(H)
探頭配置
雙探頭，分工位掃描
圖像分辨率
1~4000μm
超聲發(fā)射接收帶寬
1-500MHz
掃描模式
高精掃描、快速掃描（隔行差值掃描）
三軸平臺(tái)
大理石平臺(tái)
XY軸
直線電機(jī)、龍門雙驅(qū)
治具
晶圓專用載具
上下料
半自動(dòng)，傾斜出入水
潔凈度
百級(jí)
滬公網(wǎng)安備 31011202013830號(hào)